精密超精密机械加工技术精密和超精密加工时现代机械加工制造技术的一个重要组成部分，是衡量一个国家高科技制造业水平高低的重要指标之一。20世纪60年代以来，随着计算机及信息技术的发展，对制造技术提出了更高的要求，不仅要求获得极高的尺寸、形位精度，而且要求获得极高的表面质量。正是在这样的市场需求下，超精密加工技术得到了迅速的发展，内齿轮加工，各种工艺、新方法不断涌现。
齿轮的加工工艺过程包括以下过程：齿轮毛坯加工、齿面加工、热处理 工艺及齿面的精加工。
1、齿轮的毛坯件主要是锻件、棒料或铸件，其中锻件使用最 多。对毛坯件首先进行正火处理，平度齿轮加工，改善其切削加工型，便于切削；然后进行粗加工，按照齿轮设计要求，先将毛坯加工成大致形状，保留较多余量；
2、再进行半精加工，车、滚、插齿，使齿轮基本成型；之后对齿轮进行热处理，圆齿轮加工，改善齿轮的力学性能，伞齿轮加工，按照使用要求和所用材料的不同，有调质、渗碳淬火、齿面高频感应加热淬火等；最后对齿轮进行精加工，精修基准、精加工齿形。
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